플라즈마공정연구실

성균관대학교 공과대학 성균관대학교 자연과학캠퍼스 (16419) 경기도 수원시 장안구 서부로 2066 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제1종합연구동 81809호

교수님 소개

YEOM, GEUNYOUNG

성균관대학교 공과대학

Professor

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연구실 인원수38명
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Sci. Rep.ACS Appl. Mater. InterfacesACS Nano

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    A review of plasma-induced damage and interface recovery in GaN-based materials etching processes

    2026 Materials Science in Semiconductor Processing

    Citation0

    Jong Woo Hong, Jong Soon Park, Chan Ho Kim, Woong Sun Lim, Ja Yeon Kim, Doo San Kim, ...

    Molecular dynamics simulation of atomic layer etching for sidewall damage recovery in GaN-based structures

    2026 venue에 대한 데이터가 없습니다

    Citation0

    Eun Koo Kim, Jong Woo Hong, Woong Sun Lim, Ja Yeon Kim, Kyung Lim Kim, Jong Soon Park, ...

    Isotropic Thermal Atomic Layer Etching of 2D MoS2 Using Formic Acid Vapor

    2026 Surfaces and Interfaces

    Citation0

    Hyewon Han, Jieun Kang, Jimin Kim, Sunjae Jeong, Siyeon Kim, Gahee Oh, ...

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