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연구실 소개
반도체에서 박막 증착 공정의 중요성 우리 연구실에서는 원자층 증착법 (atomic layer deposition, ALD) 등 박막 증착을 이용한 차세대 반도체 소재, 공정 및 소자 개발 연구를 수행하고 있습니다.
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연구실 논문 목록
Improved Molybdenum Dioxide Atomic Layer Deposition Process by Introducing Pre-Reduction Agent
2026 Advanced Electronic Materials
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Optimization of In₂O₃ doping concentration for high-performance ZrO₂-based metal-insulator-metal capacitors
2026 Materials Today Communications
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Overcoming Volatility in Ion Gel via Ag Doping for Nonvolatile Memristive Switching
2026 ACS Omega
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연구실 보유 특허
최근 3년간 연구실적 높은 연구실
