마이크로/나노기계시스템 연구실에서는 반도체 공정에 기반을 둔 마이크로머시닝 공정을 이용하여, 마이크로/나노스케일의 크기를 가지면서도 기계적으로 움직임이 가능한 마이크로 센서 및 액추에이터 등의 “초미세전자기계시스템”을 설계, 제작하고 다양한 분야에 응용하고자 하는 MEMS/NEMS (Micro/Nano Electro Mechanical Systems) 분야 연구를 수행하고 있습니다.
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