연구실 | 가방끈

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김형우

성균관대학교 공과대학

Senior Researcher & Adjunct Prof. & Assistant Prof.

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대학원 지원 일정·절차는 소속 대학·대학원 및 학과(전공)마다 다릅니다. 해당 학교의 대학원 모집 공지와 지원 안내를 먼저 확인해 주세요. 연구실별로 필요 서류, 면접·과제 제출, 합격 후 입학 절차 등은 교수님 또는 연구실 안내에 따릅니다.

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연구실 대우 조건은 교수님의 과제 상황 및 석사·박사 학위 과정(재학·진학 여부 등)에 따라 상이합니다. 구체적인 지원 혜택과 연구 참여 형태는 면접 및 협의 과정에서 결정됩니다.

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연구실 논문 목록

Machine Learning-enable in-situ Diagnostics for Intelligence for Plasma-based Semiconductor Manufacturing: A Review

2026 ACS Applied Materials & Interfaces

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HKIMM PI

First hetGP-RBRDO framework for Plasma etching that separates aleatoric and epistemic uncertainties

2026 Engineering Optimization

Citation0

HKIMM PI

Plasma ions and radicals simultaneously drive physical sputtering and chemical etching of SiO₂ Optical emission and RGB imaging capture real-time plasma–surface interaction signatures Ensemble models integrate process parameters and optical data for precise etch-depth prediction SHAP-based analysis reveals RF top power as the dominant variable governing etch depth

2026 Journal of Vacuum Science & Technology A

Citation0

HKIMM PI

연구실 보유 특허

특허명부식성 가스용 공압 밸브의 내구성 평가 시스템 및 그 방법

출원번호10-2026-0000178 (2026-01-02)

공개번호데이터가 존재하지 않습니다

특허명고부식 가스 환경 하 레귤레이터 내구성 평가 시스템 및 시험 방법

출원번호10-2026-0000179 (2026-01-02)

공개번호데이터가 존재하지 않습니다

특허명배관 평가 장 치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템

출원번호10-2025-0201707 (2025-12-17)

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회사명: 주식회사 아웃스탠더스

주소: 서울시 노원구 광운로 15길 51, 3

대표: 李智優

사업자등록번호: 129-88-02423

직업정보제공사업신고번호: J1205020250003

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