울산과학기술원(UNIST) MNIS 연구실은 미세/나노 제작 기술과 나노기술, 생명공학, 전기화학을 융합하는 학제간 연구를 수행한다. 마이크로/나노 시스템 개발에 필요한 모델링, 설계, 제작 및 테스트를 포함한 연구를 진행한다. C-MEMS(탄소 MEMS)라는 고유한 제작 기술을 활용하여, 사전 패턴화된 고분자 구조를 열분해를 통해 탄소 구조로 변환한다. 주요 연구 결과로는 초저전력 가스 센서, FET 바이오센서, 전기화학 바이오센서, 고속 응답 온도 및 습도 센서, 나노 유체 장치 등이 있다. 머신 러닝을 이용한 스마트 멀티플렉스 가스 센서(E-Nose)를 개발하고, 개발된 장치의 실제 적용을 용이하게 하기 위한 센서 패키징 기술을 연구한다.
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SmallSensorsJ. Mater. Chem. A
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연구실 논문 목록
Ultralow-Power Single-Sensor-Based E-Nose System Powered by Duty Cycling and Deep Learning for Real-Time Gas Identification
2024 ACS Sensors
Citation41
T. Kim, Y. Kim, W. Cho, J. -H. Kwak, J. Cho, Y. Pyeon, ...
High-temperature adaptive through-silicon via with pyrolyzed carbon via-sealing plates for packaging 3D carbon nanostructure-based devices fabricated using C-MEMS
2024 Carbon
Citation0
J. -H. Kwak, W. Cho, B. Kim, T. Kim, H. Shin
Batch Nanofabrication of Suspended Single 1D Nanoheaters for Ultralow-Power Metal Oxide Semiconductor-Based Gas Sensors
2022 Small
Citation0
T. Kim, W. Cho, B. Kim, J. Yeom, Y. M. Kwon, J. M. Baik, ...
연구실 보유 특허
특허명Gas sensor based on the 3w-method using a suspended carbon nanowire and method for manufacturing gas sensor
출원번호10-2651194/2024
공개번호데이터가 존재하지 않습니다
특허명Method of calibrating gas sensor and self-calibrating system performing method
출원번호10-2588967/2023
공개번호데이터가 존재하지 않습니다
특허명Nano particle composite, gas sensor comprising the same and producing method of the same