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연구실 소개
C-beam 연구실에 오신 것을 환영합니다. 본 연구실은 차세대 반도체용 C-beam 응용 연구를 수행하며, X선 이미징 및 단층촬영술, SEM, EUV 광원, 홀 드릴링 등을 포함합니다.
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연구실 논문 목록
Measurement of EUV light source performance with multilayer mirror adaption using cold electron beam (C-beam)
2026 venue에 대한 데이터가 없습니다
Citation0
Focusing electrode effect on the EUV lighting technology based on C-beam irradiation technique
2025 J. Vac. Sci. Technol. B
Citation0
Impact of Beam Collimation on EUV Light Emission in C-beam-Based EUV Systems
2025 venue에 대한 데이터가 없습니다
Citation0
연구실 보유 특허
특허명전기화학적 바이오 센서용 전극 및 이를 포함하는 바이오 센서
출원번호10-2010-0115101
공개번호데이터가 존재하지 않습니다
특허명엑스레이 소스 및 이를 포함하는 엑스레이 시스템
출원번호10-2010-0135815
공개번호데이터가 존재하지 않습니다
특허명탄소나노튜브 램프 칩 어레이를 이용한 백라이트 유닛
출원번호10-2010-0034149
공개번호데이터가 존재하지 않습니다
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